玻璃与铝在不同层数结构下的阳极键合界面力学性能

摘要

运用共阳极法实现不同层数玻璃／铝的阳极键合，采用MARC非线性有限元分析软件，对三层、五层、七层、九层玻璃／铝键合试件的界面力学性能进行比较分析，探讨结合处残余应力随层数增加的变化趋势，分析结果表明，由于多层结构的对称性，最大的等效应力发生在中心处的过渡层。研究结果为MEMS器件在多层封装结构的设计提供了理论依据。