トクヤマ、徳山製造所で乾式シリカ設備を今秋増強～CMP向け増産

摘要

トクヤマは、徳山製造所（山口県周南市）で今秋までに乾式シリカ設備を増強する。 半導体の研磨に使うCMP（化学的機械研磨）スラリー向けの中長期的な需要拡大を見据え、増産体制を整える。 トクヤマは、徳山製造所で2004年3月に乾式シリカ設備増強を完了し、公称生産能力を年産5,000トン増の2万トンに引き上げた。