JSR、次世代液浸露光用の高屈折率液体開発～水より高い透過率

摘要

JSRは2010年ごろの実用化が期待される半導体製造の第2世代液浸露光用材料として開発中の高屈折率液体について、光波長193nmでの透過率が純水よりも高く、同時に屈折率1.64を実現する液体を開発した。 引き続き露光装置メーカーや大手デバイスメーカーの協力を得て検討を進め、採用を提案する。