Измерение характеристик ионного потока на поверхность образца в ВЧ разряде пониженного давления

摘要

Проведены теоретические расчеты и экспериментальные измерения параметров анализатора, используемого для оценки энергии ионов и плотности ионного тока на поверхности образца в высокочастотном разряде пониженного давления.