450mm用スパッタリングターゲットトーソー·SMD設備新設

摘要

東ソーグループのトーソー·SMDは、このほど半導体市場における次世代のウエハーサイズである450mm用スパッタリングターゲットの製造設備を新設する。東ソーの高機能材料事業で取り扱うスパッタリングターゲットは、半導体·フラットパネルディスプレー·太陽電池などのエレクトロニクス分野における薄膜形成材料として使用され、今後も需要の拡大が見込まれている。