メタンおよびアセチレンを原料としてRFプラズマCVD法により成膜したDLC膜の熱伝導率

摘要

RFプラズマCVD法によりメタン、アセチレンを原料として成膜したダイヤモンドライクカーボン(DLC)膜の熱伝導率を3ω法により測定した。 DLC膜の熱伝導率に影響する要因を明らかにするため、ラマン分光測定による非晶質性、ラザフォード後方散乱／反跳原子検出法(RBS/ERDA)による膜中の水素濃度や密度に対する熱伝導率の依存性を考察した。メタン原料では膜中の水素濃度が高く熱伝導率が顕著な密度依存性を示さなかったが、アセチレン原料では、非晶質性が低い場合には熱伝導率が密度と共に高くなり、非晶質性が高い場合には密度依存性を示さなかった。