フラノメサ構造圧電磁器板を用いたエネルギー閉込め型振動ジャイロ

摘要

近年、コリオリカを利用した角速度センサである圧電振動ジャイロが、カメラー体型VTRやカーナビゲーションへの応用を中心に盛んに研究され、実用化されている。 最近では車のエアバックやVSC (Vehicle Stability Control)等の高信頼性が要求される分野でも、安価で高精度の振動ジャイロの実現が期待されている。 これらの振動ジャイロ設計において最も重要な課題は、素子の支持構造である。 従来の振動ジャイロは音片や音叉などの屈曲振動を用いたものが多く、感度は高いものの素子の支持やリード線取付けの影響による特性劣化が実用上大きな問題となってきた。 これに対して、振動エネルギーの集中度が高く、振動しない領域が広範囲に存在するエネルギー閉込め振動を用いれば、これらの支持やリード線取付けによる特性劣化の問題が一挙に解決され、高精度で信頼性の高い圧電振動ジャイロが実現できると考えられる。 エネルギー閉込め型振動ジャイロとしては、これまで部分分極圧電磁器板の厚みすべり振動を用いた構成例及びLiNbO{sub}3やLiTaO{sub}3等の圧電結晶板の厚みすべり振動を用いた構成例が報告されている。