トータルガスマネジメント、SiCパワー半導体製造装置、環境試験装置

摘要

ガストロニクスによる技術革新を理念に、顧客のニーズに沿ったエコロジーな製品とシステムを豊富な経験を生かしてトータルマネジメントする同社は、装置関係では近年注目のSiCパワー半導体分野で、その製造に欠かせない超高温熱処理装置Ailesicシリーズを紹介する。同シリーズは同社熱処理技術の集大成であり、現在、国内最大シェアを持ち、海外進出にも着手している。各種環境試験装置の製作·受託評価も手がけ、主に車載用デバイス·材料等の評価に実績がある。