半導体デバイスへの放射線影響と耐放射線対策

摘要

近年，半導体デバイスは，我々の生活において必要不可欠となっており，その利用範囲は拡大の一途をたどっている。このような利用範囲の拡大に伴って，様々な角度から半導体デバイスの信頼性を担保することが重要となってきている。半導体デバイスの信頼性低下の原因の一つとして，半導体デバイスへ放射線が入射することによるデバイスの特性劣化が挙げられる。本稿では，東京電力福島第一原子力発電所（東電福島第一）の廃炉処理作業に対して，半導体デバイスが搭載された機器を導入することを念頭に，半導体デバイスと放射線の関係，半導体デバイスの耐放射線性向上に向けた技術的な取り組みについて紹介する。