EFTEMによる高分子材料の構造解析--モルホロジー観察から微細構造解析へ

摘要

EFTEMによる高分子材料の解析について，筆者らの界面，ゴムの構造解析を例に概説した．現状では，10nmレベルの分解能の元素マップやEELSによる組成解析が可能であり，従来のTEMでは観ることができなかった構造を観察することが可能となり，高分子局所構造に関して新しい知見を提供することができた．高分子試料では，電子線ダメージ，ドリフト，変形などが避けられず，いかにこれらを軽減するかが重要である．高分子の電子線損傷に関する詳細な研究は少ないのが現状であり，本手法をさらに発展させるためには，高分子試料の損傷がどの様に，どの程度起こるのかを把握する必要がある．EELSにより求められる試料の相対厚み，コア·ロスピーク強度などからダメージの進行を知ることができる．高分子材料の電子線損傷の挙動は，試料およびその膜厚によっても異なるようである．今後，化学結合状態を含めた高度な分析を行う場合，個々の試料に関して，電子線損傷の挙動を調べる必要がある．高分子の分野で本手法が発展するためには，化学結合状態の解析が重要である.いくつかの試料については結合状態を含めた情報が得られているが，電子線ダメージについて系統的に研究を進めていくことカミ今後重要である．