静電気障害を防止する導電性材料の諸特性－最先端電子デバイスのための過剰動電荷理論に基づくESD計測技術

摘要

この数年，PCや携帯電話の高性能化，液晶ディスプレーの大型化，大容量のハードディスクを内蔵したTVなど電子産業界の大きな躍進が認められる．ところが，これらの電子機器やそれに搭載される電子デバイスの製造プロセスでは未だにESD障害が尽きず，従来にも増して高度な計測技術と対策技術が必要になった．これまで我々は，過剰動電荷理論に基づいて，試験·計測方法を開発し，様々な分野の生産ラインにおけるelectrostatic discharge (ESD)障害を解決してきた．その過程において，それらの基礎技術を応用し，故障メカニズムを推定することによって障害を未然に予測し，対策を立案·実施しその検証を行ってきた．しかし，その過程で，最先端の電子機器や電子デバイスの製造過程においては，特に導電性(conductive，dissipative)の対策器材(implements)に対し，デバイス帯電モデル(charged device model: CDM)の観点から見た電気的特性の新たな規格が必要であることがわかった．また，その規格に対する厳しい規準(criteria)の設定および高い精度(accuracy)の計測技術の開発が必須であることがわかった．この論文では，ESDに敏感なmagnetic resistive head (MR head)に使われる対策器材に焦点をあて，その計測技術を紹介する．