半導体式ガスセンサの試験方法

摘要

本稿では揮発性有機化合物（VOCs：Volatile Organic Compounds）を検知対象とした半導体式ガスセンサの試験方法に関する国際規格ついて紹介する。建物の塗料、壁紙、建材、家具等から放散されるVOCは、シックハウス症候群の原因物質と考えられており、その対策が求められている。しかしながら、室内のVOCsは数百******g／m~3（数十ppb）程度の極低濃度であり、精密測定法において成分と濃度の結果を得るためには、通常2週間程度を要する。このことから、現場においてリアルタイムにVOCs濃度レベルを測定することができる、小型で持ち運びが可能な検知器が求められている（図1）。代表的なものが半導体式ガスセンサであるが、検知性能に関する評価は、各センサメーカーが独自の手法で行っているのが現状である。