微粒子計測と標準--現状と課題

摘要

微粒子計測に関わる校正用標準として、粒径標準、気中粒子数濃度標準、および液中粒子数濃度標準について、産総研での取り組みの現状を中心に紹介した。 これらの標準は、半導体生産等における清浄度管理などの目的で、従来から一定のニーズが存在した。 しかし、最近のナノテクノロジーの進展、ディーゼルナノ粒子に対する国際的懸念、GMP（Good Manufacturing Practice）など医薬品に対する品質管理基準に対する関心の高まりなどの中で、これらについてのニーズはますます高まっている。 従って、これらの早期の供給や、供給済みのものについての高精度化が一層重要になっていると考えている。