机译:使用突然死亡测试结构和OBIRCH在镶嵌铜互连中进行电迁移寿命测试
electromigration; sudden death test structure; obirch; damascene cu interconnect; bimodal distribution;
机译:使用突然死亡测试结构和OBIRCH在镶嵌铜互连中进行电迁移寿命测试
机译:使用突然死亡测试结构和OBIRCH在镶嵌铜互连中进行电迁移寿命测试
机译:使用突发死亡测试结构和obirch的镶嵌铜互连的电迁移寿命试验
机译:使用正常和高加速测试的镶嵌铜互连的电迁移
机译:研究金属结构对镶嵌铜互连中电迁移的影响。
机译:铜双镶嵌互连的早期电迁移失败的紧凑模型
机译:突然死亡测试下威布尔分布寿命的条件变量双采样计划