デジタル家電と特殊鋼：III.デジタル家電に関わる特殊鋼－2.製造設備 (1)半導体製造装置における特殊鋼の実情と要望

摘要

私ども東京エレクトロングループが活動している半導体産業の発展は目覚しいものがあり、その環境にいながらにして、そのスピードに驚きの念を隠しえない。 一例として、インテル社のCPU は初期の4001から2003年のItanium Processor を比較すると、クロック周波数で約10万倍、集積トランジスタ数では18万倍の能力向上がなされている（最先端のXeon Processorのトランジスタ数は公開されてない）。 わずか32年間での驚異的進歩である。 ところが、著者の知る限り、半導体製造装置における特殊鋼の発展は、誤解を恐れながら述べると、イギリスのハリー·プレアリーのステンレスの発明（1912年）、後のアメリカヘインズ社によるハステロイ合金（1920年）、それ以降の進展はあまり象徴的なものがない。これには、装置メーカーと材料メーカーとの関わり方に問題があったと考える。