マイクロ波プラズマCVDにより合成した窒化炭素の摩擦摩耗特性に及ぼす相手材の影響

摘要

マイクロ波プラズマCVDにより合成した窒化炭素の摩擦摩耗特性に及ぼす相手材の影響ついて検討した．摩擦摩耗特性の評価はピンオンディスク型摩擦試験機により行い，相手材にはSUJ2ピンにアンバランスドマグネトロンスパッタによって成膜したTiC，TiCNおよびTiNを用いた．相手材にTiCを用いた場合に摩擦係数は0.1～0.2と低い値を示した．一方，相手材にTiCNおよびTiNを用いた場合に，相手材にTiCを用いた場合と比較し摩擦係数は高く，相手材の摩耗痕部では被痕の摩滅が認められた．一方，相手材にTiCを用いた場合ではTiC膜の摩滅は認められず，生成物の摩耗痕深さも最も低い値を示し，窒化炭素は相手材に炭化物を用いることで優れた摩擦摩耗特性を示すことが明らかとなった．