Двухступенчатый источник широкого пучка газовых ионов содержит плазменный катод с сеточной стабилизацией и анодную ступень с многополюсным магнитным полем. Ток эмиссии плазменного катода на основе тлеющего разряда с полым катодом регулируется в пределах 0.1-1 А, напряжение на биполярном диоде между катодной сеткой и анодной плазмой, определяющее энергию быстрых электронов, -в пределах 50-200 В. Рабочее давление аргона в анодной ступени составляет 4 · 10{sup}(-3)-1 · 10{sup}(-1) Па. Пучок ионов аргона с энергией до 5 кэВ и током свыше 100 мА формируется двухэлектродной ионно-оп-тической системой площадью ～50 см{sup}2.
展开▼
机译：气体离子束的两级源包含具有栅极稳定功能的等离子体阴极和具有多极磁场的阳极级。基于空心阴极辉光放电的等离子阴极的发射电流可在0.1-1 A范围内调节，阴极网格与阳极等离子体之间的双极二极管两端的电压（确定快速电子的能量）在50-200 V之内。氩气在阳极级的工作压力为4·10 {sup}（-3）-1·10 {sup}（-1）Pa。由面积为50 cm {sup}的两电极离子光学系统形成一束氩离子束，能量高达5keV，电流超过100mA。
展开▼
