初心者のための表面測定技術：第4回 輪郭形状測定機(1)

摘要

これまで表面を評価するパラメータについて述べてきた。 今回は、表面形状を測定する接触式および干渉を利用した光学式の輪郭形状測定機の特徴を紹介する。