宮城県産業技術総合センターにおける超精密研削加工技術の開発

摘要

超精密鏡面研削加工技術は、研削加工のみで高い形状精度と良好な表面粗さを同時に得ることが可能な加工技術である。 特に、加工精度の高精度化が求められている各種超精密機械部品や次世代光学素子、複写機などのレンズ用金型などの分野では、研磨工程短縮による製造コストの低減や製品サイクル短縮による競争力の強化を可能とする技術であり、高い注目を集めている。 宮城県産業技術総合センターでは、超硬合金やセラミックスなどの難加工材料を被削材とした、ダイヤモンド砥石による平面および自由曲面形状の超精密鏡面研削加工技術の開発を行っており、また開発した技術を企業へ技術移転する活動を行っている。今回は、超硬合金製ガラスレンズ金型と反応焼結SiCセラミックスの加工技術開発について紹介する。