キーテクノロヅーコーナー：ゃンサ技術の測定原理とえの特徴

摘要

圧力センサの種類としては、次のようなものがある。 ①圧電素子：水晶、チタン酸バリウムなどの結晶に圧力を与えてひずみを発生させると、圧力を加えた結晶の両端に電圧が発生する。 この圧電効果を利用したセンサを圧電素子という②ストレインゲージ：ストレインゲージは、ひずみを電気抵抗の変化に変換する素子で、ひずみゲージとも呼ばれる。 被測定体に貼るだけで簡単に使用できる利点がある。 ダイヤフラムなどが圧力の変化に伴って、ひずむ場所にこのストレインゲージを貼り付け、圧力を検出する③半導体圧力センサ（図1)：半導体のウエハの裏側をエッチングして薄くし、ひずみ易いダイヤフラム構造にしてその表面側に半導体ストレインゲージを生成させたもので、ひずみ量の検出で圧力を測定できる。 小型、軽量、高感度で、空気圧、油圧、水圧の測定などに用いられる。