電着銅薄膜を利用した応力測定法

摘要

本測定法は，電着により作製した銅薄膜が繰返し負荷を受けると，薄膜内に作用応力に依存した結晶が成長する現象を利用した応力測定法である．この原理は，名古屋大学名誉教授の大久保肇先生が東北大学在籍中に「銅めっき応力測定法」として発案された方法であり，同名の書籍が朝倉書店から出版されている．その後，多くの研究者によって，感度の向上に関する研究，高温環境下への適用に関する研究，主応力の測定法に関する研究などの様々な研究成果が発表されて，現在に至っている．本解説では，本測定法の原理と最近の著者による研究成果を中心に紹介する．