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声明
第1章绪论
1.1铜的电沉积原理
1.2电沉积铜薄膜的制备工艺
1.3电沉积铜薄膜的组织结构与性能
1.4薄膜中织构及其表征
1.5薄膜中内应力及其表征
1.6选题意义及研究内容
参考文献
第2章材料及实验方法
2.1材料制备及处理工艺
2.2实验方法
2.3电沉积铜薄膜自回火时间
参考文献
第3章 电沉积铜薄膜中的织构
3.1铜薄膜织构的XRD表征
3.2电流密度和薄膜厚度对薄膜织构的影响
3.3添加剂对电沉积铜薄膜织构的影响
3.4超声波电沉积工艺对铜薄膜织构的影响
3.5织构与薄膜的各向异性
3.6本章小结
参考文献
第4章铜薄膜X射线弹性常数计算
4.1多晶材料弹性常数及X射线弹性常数计算
4.2丝织构对材料弹性常数及X射线弹性常数的影响
4.3电沉积铜薄膜X射线弹性常数及应力计算
4.4铜薄膜应力测定误差计算
4.5铜薄膜力学行为研究
4.6本章小结
参考文献
第5章电沉积铜薄膜中的内应力
5.1电沉积工艺对铜薄膜内应力的影响
5.2内应力对薄膜织构的影响
5.3电沉积铜薄膜内应力调整
5.4本章小结
参考文献
第6章结论与创新
攻读博士学位期间发表论文及申请专利
致 谢