共鳴トンネルダイオードとスロットアンテナを用いたミリ波·サブミリ波発振素子の発振特性とバイアスによる周波数可変性

摘要

共鳴トンネルダイオード（RTD）は、コンパクトなコヒーレントTHz発振器の候補である。 我々はRTDとMIMリフレクター構造を集積したスロットアンテナを用いた発振素子を作製し、587GHzまでの発振を確認した。 また、発振周波数と出力の理論解析を行い、発振周波数の理論解析結果と測定結果に大変良い一致が見られ、発振周波数はアンテナ長の縮小により1.3THzまで可能であることが分かった。 発振出力については、1THzにおいて100μWの出力が得られることが分かった。 また、発振周波数がバイアスにより変化することを見出し、中心周波数253GHzの素子において周波数幅18GHzで変化させることが出来た。