弾性表面波素子を用いた励振モード切り替えによる音響流の発生と攪拌への一応用

摘要

本研究では，YかソトZ伝搬LiNbO_3基板上に構成された櫛歯状電極（IDT）から弾性表面波（SAW）とバルク波（BAW）の2つの励振モードに応じた音響流を発生できることを実験的に示した．このSAWとBAWのモード切替による音響流を攪拌に応用したところ，微小容器内の液性に応じたモードを選択することで，攪拌効率の向上が示された．本手法は，単一のIDTで時空間的に流れ場を変化させることができるため，攪拌効率の改善だけでなく，デバイスの小型化をも期待できる．