中央部に2段の突起を持っ圧電円板振動子を用いた微少量粉体供給デバイスの試作

摘要

中央部に2段の突起を持つ圧電円板振動子を用いて、粒径が10μm以下の粉体を、毎秒ミリグラムオーダーで供給することを試みた。 圧電円板振動子は縮退する2つの面垂直屈曲振動B{sub}11-B{sub}11，モードを用い、両モードを2相駆動することにより生ずる先端部の楕円運動を利用し、粉体が振動子の先端部から振るい落とされる構造となっている。 粒径が2μmの白色溶融アルミナやフライアッシュ等の粉体を用いて、流量が1 mg/s程度の微少量粉体を安定に供給することが出来ることを確かめた．。 本文では、振動子構造や振動モード解析·測定ならびに試作デバイスの粉体供給特性を報告する。