アルコキシシラン系バインダーを用いた高純度シリカガラス合成

摘要

シリカガラスは耐熱性に優れ不純物が少ないため,電子材料分野で幅広く使用されている代表的材料である．シリカガラスを作る方法としてラゾルーゲル法を用いアルコキシシランから湿潤成形体を作り焼成することが盛んに行われている．しかしこの方法では，乾燥時に成形体が大きく収縮するため，大型の成形体をひび割れすること無く乾燥·焼成することは非常に困難であった．本報では，アルコキシシラン系バインダーを用い,純度の高い合成シリカ粉を固化させることにより，大型のシリカガラスを作製する方法を示す．