超微小押し込み硬さ試験機（超軽荷重型）Nano Indentation Tester（Ultra Low Load）ENT－2100

摘要

近年のマイクロマシン技術，ナノテクノロジーの発展や半導体デバイスの微細化に伴い，従来より微小な領域での材料特性を的確に評価することが重要な課題となっている。 現在，薄膜や材料表面の機械的特性を評価する有効な方法の一つとして超微小硬さ試験が注目されている。