超微小押し込み硬さ試験機（超極軽荷重型）：ENT-3100

摘要

一方で，薄膜材料，軟質材料の分野ではますますの発展·高度化が進んでおり，反射防止等の機能性フィルム，レジスト材料，low-k膜等の樹脂膜，またDLC 等に代表される硬質保護膜などが積極的に応用，実用化されている。これらの材料では，サンプルの厚さ（膜厚）が数十nm以下というものも珍しくなく，こういったより薄い，柔らかい材料においても，極表面領域を対象とした，機械的特性評価が強く求められている。このような要望に応えるため，弊社では，超極軽荷重（最小0.5μN～）で微小変位（10nm以下）で安定して再現性よく，測定可能な超微小押し込み硬さ試験機（ENT-3100）を新たに開発した。本報では開発した試験機の特徴，仕様，測定例について述べる。