D8 DISCOVER-- ИНСТРУМЕНТ ИССЛЕДОВАНИЯ ПЕРСПЕКТИВНЫХ МАТЕРИАЛОВ ДЛЯ МИКРО- И НАНОЭЛЕКТРОНИКИ

摘要

Представлен многофункциональный рентгеновский дифрактометр D8 DISCOVER фирмы Bruker АХ8 (Германия), позволяющий решать как прикладные, так и фундаментальные задачи в области материаловедения перспективных материалов для микро- и наноэлектроники. Описаны основные оптические схемы прибора, которые дают возможность реализовать различные методики для　 исследования различных типов образцов (объемные кристаллы, тонкие аморфные, моно- и поликристаллические пленки, гетероэпитаксиальные структуры, пленки с нановключениями и т.п.), а　 также программное обеспечение для планирования и управления экспериментом и для обработкиего результатов. Рассмотрены варианты использования различных типов детекторов и источников рентгеновского излучения, расширяющие функциональные возможности базовой конфигурации дифрактометра.