用于微电子材料快速处理的新型大面积电子束的研制

摘要

本文报导了一种新型电子束源的研究结果。这种电子枪能高效率地(70%)提供KeV的大面积(75cm^2)电子束。文中给出了电子枪的基本构造、伏安特性和束电子产生效率的计算和实测。它可用于微电子材料快速热处理。