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电子气体:一种亟待解决的关键微电子材料

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摘要

分析了我国以往电子气体的现状,介绍目前国外发达国家电子气体研发的具体做法,对未来我国电子气体的发展提出新的想法.

著录项

来源
《低温与特气》 |2008年第4期|1-5|共5页
作者
孙福楠; 吴江红; 冯庆祥;
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作者单位

光明化工研究设计院,辽宁,大连,甘井子,甘北路34号,116031;

光明化工研究设计院,辽宁,大连,甘井子,甘北路34号,116031;

光明化工研究设计院,辽宁,大连,甘井子,甘北路34号,116031;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类特种气体;
关键词
电子气体; 砷烷; 硅烷; 合成; 净化; 分析;

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