Cечения торможения ионов азота c энергией 50-230 keV в кремнии,измеренные методом обратного рассеяния ионов

摘要

C целью развития метода диагностики тяжелых примесей в пленках нанометpовых толщин методом обратного рассеяния тяжелых ионов (ОРТИ) измерена зависимость полного сечения торможения σs(Е) ионов азота с энергией 50-230 keV в кремнии. Полученная зависимость σs(Е) при энергии ионов ниже 150 keV занимает промежуточное положение между зависимостями, приводимыми в базах данных SRIM и MSTAR,а при более высоких — близка к первой. Оценки влияния неупругих процессов на определяемую величину сечения торможения показали, что для ионов азота влиянием этих процессов при исследовании тяжелых примесей в пленках методом ОРТИ можно пренебречь.