Легированные эрбием алюмооксидные пленки с встроенными кремниевыми наночастицами получены магнетронным распылением композитной мишени (Al+Er_2O_3+Si) и их последующим электрохимическим анодированием при комнатной температуре. Спектры фотолюминесценции пленок измеряли в диапазоне температур 4.2-300 K. Наблюдалась эффективная фотолюминесценция на длине волны 1.54 мкм без предварительного отжига образцов, что указывает на возможность активации ионов Er~3+ без использования высокотемпературных операций. Алюмооксидные пленки со встроенными кремниевыми наночастицами продемонстрировали более сильную фотолюминесценцию на длине волны 1.54 мкм по сравнению с подобными пленками без кремниевых наночастиц. Этот эффект можно объяснить дополнительной накачкой эрбиевых люминесцентных центров с передачей энергии от кремниевых наночастиц.
展开▼