ОСОБЕННОСТИ ТРАВЛЕНИЯ ПОВЕРХНОСТИ (001) МОНОКРИСТАЛЛИЧЕСКОГО КРЕМНИЯ В РАСТВОРАХ НА ОСНОВЕ ГИДРОКСИДА КАЛИЯ

摘要

Изучены особенности микро- и нанорелъефа поверхности (001) монокристаллического крем-ния, формирующегося при травлении в водных растворах гидроксида калия различных концен-траций при различных температурах, в том числе - с новыми модифицирующими добавками KMnO4 и KNO3. Показано, что наиболее вероятной причиной формирования основных дефектов Si(001) является временная локальная адсорбция на поверхности силикатов - продуктов трав-ления кремния.