コヒーレントX線のための高精度全反射ミラーの開発

石川哲也; 森勇藏; Tetsuya ISHIKAWA; Yuzo MORI

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コヒーレントX線のための高精度全反射ミラーの開発

机译：相干X射线高精度全反射镜的研制

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コヒーレント放射光の実現に伴い，全反射ミラー素子には，きわめて高い形状精度と原子スケールの平滑性が強く求められている．ここでは，シンクロトロン放射光をより高度に利用に供するために必要な高性能ミラーの開発を目的に，EEM (Elastic Emission Machining)およびPCVM (Plasma Chemical Vaporization Machining)による高精度全反射ミラーの製作とその性能評価を1km長尺ビームライン(SPring-8 BL29XUL)のX線を用いて行った結果を示す．

机译：随着相干发射的实现，强烈要求全反射镜元件在原子尺度上具有极高的形状精度和光滑度。为了开发更先进地使用同步加速器辐射所必需的高性能反射镜，我们将使用EEM（弹性发射加工）和PCVM（等离子化学汽化加工）制造高精度全反射镜。显示了使用1公里长光束线（SPring-8 BL29XUL）的X射线进行性能评估的结果。

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来源
《应用物理》 |2003年第4期|共6页
作者
石川哲也; 森勇藏; Tetsuya ISHIKAWA; Yuzo MORI;
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作者单位

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收录信息
原文格式 PDF
正文语种 jpn
中图分类应用物理学;
关键词
synchrotron radiation; coherent X-ray; total reflection mirror; focusing; scanning X-ray microscope; elastic emission machining; plasma chemical vaporization machining; ultraprecision machining; ultraflat surface;

机译：同步辐射;相干X射线;全反射镜;聚焦;X射线扫描显微镜;弹性发射加工;等离子体化学汽化加工;超精密加工;超平表面;

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