酸化チ夕ンナノシートを用いた新規誘電体薄膜の合成

佐々木羲

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酸化チ夕ンナノシートを用いた新規誘電体薄膜の合成

机译：用氧化钛纳米片合成新型介电薄膜

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層状チタン酸化物を単層は＜離して得られる酸化チ夕ンナノシートを溶液プ口セスによりレイヤーバイレイヤー累積し，高品位多層ナノ薄膜を形成した．得られた薄膜は厚さ10nm前後の極薄領域でも120を超える比誘電率を示すとともに，リーク電流も10~(-7)A/cm~2以下ときわめて高い絶縁性を発揮し，ナノレべルの厚みで機能する新規誘電体薄膜として期待される．

机译：将单层的二氧化钛层彼此分离，并且通过溶液法将所获得的二氧化钛纳米片逐层累积，以形成高质量的多层纳米薄膜。所获得的薄膜即使在厚度约为10nm的超薄区域中也显示出超过120的比介电常数，并且具有极高的绝缘性，漏电流为10至（-7）A / cm至2或更小。有望成为一种新的介电薄膜，其功能与铝的厚度相同。

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来源
《应用物理》 |2009年第10期|共8页
作者
佐々木羲;
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作者单位

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收录信息
原文格式 PDF
正文语种 jpn
中图分类应用物理学;
关键词
titania nanosheet; exfoliation; layer-by-layer assembly; solution process; ultrathinmultilayer film; high-k dielectric nanofilm; size-effect free; interface engineering; dead-layer free;

机译：二氧化钛纳米片;剥离;分层组装;固溶工艺;超薄多层膜;高k介电纳米膜;无尺寸效应;界面工程;无死层;

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