愛·地球博レーザードリームシアター用GxL光変調モジュール技術

摘要

愛·地球博レーザードリームシアター向けにMEMS技術を用いた一次元光変調素子であるGxL 用語)モジュールの開発を行い，リボンのブレーズ化ならびにその形状最適化により回折効率70％，平均コントラスト10000：1以上の性能を実現し，さらに十分な信頼性確保も行った．本稿では，これらを実現した技術について報告する．