小特集「イオン技術の新しい発展」に寄せて

摘要

1980年代から1990年代にわたってイオンビームを用いた材料プロセスは当時の革新的技術の一つとして，妾宅が国はもとより世界的にも大変盛んとなり，これに関する国際会議も数多く行われ，毎年多数の参加者で腺わった。しかし国内ではいわゆるバブル経済の崩壊後その勢いがだんだん小さくなり，基礎研究における節匪講読的な成果にもかかわらず，今では単純にイオン技術と言うだけではそれほど注目されなくなっている。 その理由として高価な装置構成であるとともに，半導体へのイオン注入以上に，これと言った実用化の成果カぎ色々出なかったことなどがあげられる。