イオンビームによ为表面改質～70年代から現在まで、理研におけるテロマを中心に～

摘要

理化学研究所ではサイクロトロン、リニアックを用いた高エネルギー物理研究とともに、主としてMeV以下の中低速イオンを用いた表面改質研究も70年代中頃から並行して行われてきた。 1968年に日立製作所中央研究所で製造されたイオン注入装置（国産第一号機）を1975年に理研に移設し、イオン注入による表面改質の研究を開始した。 半導体へのイオン注入技術が確立され、世界でも他の材料への応用を模索し始めたのと同時期である。 中心となったのは岩木正哉＊1らである。 最籾に取り＿上げられた課題は、鉄鋼へのイオン注入による耐摩耗性、耐食性、曲げ陸、引っ張り強度など様々な特性へのイオン注入効果の探索であった。それ以来行われた研究の概要を表－1に示す1）。 鉄鋼木オ料に関する研究からスタートし、アルミなど非鉄金属からガラス、セラミックス、炭素（ダイヤモンド、ガラス状炭素）、〆そして高分子へと対象材料は広がった。発表論文テ、－マからその推移をみると、80年台は金属が中心、90年代からは高分子が中心となっている（表－2）。 セラミックスおよび炭素に関しては、80年代後半から現在に至るまでコンスタントに研究が進められている。