4. レーザ一生成プラズマ光源4．2　高出力レーザー生成プラズマEUV光源の開発

摘要

レーザー生成プラズマ（Laser Produced Plasma，以下LPPと記す）方式EUV光線は固体，気体，液体等のターゲットをパルスレーザーで照射して発生する商胆プラズマからのEUV放射光を利用する．従来からレーザープラズマは小型である点を生かして研究用をはじめとしてⅩ線源として広範な研究開発が行われてきている．固体の場合にはCu等の金属が，気体の場合にはAr，Kr，Ⅹe等の希ガスを高速ガスバルブで其卦11に噴出させてターゲットとして利用されている．リソグラフィ畑ではこれらの研究寅レベルの北源とは此掛こならない南平均出力が商い安定度と経済性とともに要求される．そのため，これらの厳しい要求に適合するためにいくつかの最適化が試みられてきている．以下ではEUVAで開発を進めているLPP方式高出力EUV光源を例に，システムの構成と開発の現状と課題について述べる．