5.レ一ザ一アプレーション応用の現状と今後の展開

摘要

レーザーアプレーションは固体あるいは液体（以下固体を代表的に用いる）の表面にレーザー光を照射したとき，プラズマの発生とともに固体表面の構成物質が爆発的に放出される現象である．たとえば，QスイッチNd：YAGレーザーやエキシマレーザーのようなナノ秒領域のパルス帽を持つレーザー光を，レンズで固体表面に集光照射すると，ごく一般的に観察される硯象である．レJザーアプレーションには，プラズマの発生，衝撃波の発生，荷電粒子や原子分子，クラスターなどさまざまな粒子や光の放出など，いろいろな物現現象が伴う．このような現象を加工，醫療，材料創製などへ応用しようという研究の端緒は，Qスイッチルビーレーザーが発明された，1960年代前半まで遡ることができる．40年が経過した現在，これらの応用研究の一部はすでに実用化されている．さらに，ユキシマーレーザーヤフユムト秒レーザーなど新しいレーザーの開発と裝置技術の成熟に伴って，既存技術の高度化あるいは新しい応用分野の開拓など，レーザーアプレhションの応用研究はますます盛んになっている［1］．