低加速EB高速転写装置を開発しED表面に200nm径の微細周期構造

摘要

ジャスダック上場の半導体検査機器メーカー、ホロンは、低加速電圧電子ビーム（EB）高速転写装置を開発、販売を始めた。直径200nm程度の穴が周期的に開いたフォトニック結晶と呼ばれる微細構造を発光ダイオード（LED）の表面などに効率よく作製できる。 LEDの高輝度化につながるフォトニック結晶の微細なパターンを正確な間隔で素早く転写できる。 価格は1億5000万円。