ソニーはブルーレイの原盤作製装置で早くも実用化基礎を固めて汎用技術化を狙う日立

摘要

新しい極微細加工法「相変化リソグラフィー」に産業界が注目している。 比較的安価なシステムでナノ加工に威力を発揮するからだ。 温度で結晶形が変わる相変化物質と青色半導体レーザーを用いる。 ソニーと日立製作所がそれぞれ独立に発見した原理に基づく。 ソニーは次世代DVD（デジタル多用途ディスク）のブルーレイ·ディスクの原盤作製装置の発売という形で早くも実用化した。 日立は応用分野をディスクに限定せず、基礎を固めて汎用技術への発展を狙っている。