放電を利用した革新的コーティング技術

摘要

部品の表面コーティング法には，CVD (Chemical Vapor Deposition)，PVD (Physical Vapor Deposition)，めっき，溶接，溶射などがある．航空機エンジン部品や機械部品では，部品の一部分に耐摩耗コーティングが必要とされる場合が多く，また，部分補修や補強が必要とされる場合も多い．CVD，PVD，めっき，溶射では，部品の一部分への選択的なコーティングにはマスクキングが必要なため手間がかかる．一方，溶接はマスキングは不要であるが，余肉が発生したり浴接部が局所的に加熱されて被処理部品が熱変形や割れを起こしたりする恐れがあった．このような問題を解決するため，微小なパルス放電により信頼性の高い被膜を必要な箇所に精度よくコーティングできる技術を開発した．我々はこの技術を微小放電の利用に因んでMicro Spark Coating（略してMSCoating）と呼んでいる．