LIGAプロセスを用いた金属粉末射出成形によるマイクロ構造体の製造法

摘要

本研究により，以下の知見が得られた。 （1）LIGAによる微細構造金型を用いて犠牲樹脂型方式による射出成形を行い, 微細構造の転写を行うことができた。 （2）粒径の異なる金属粉未を用いて微細構造体を試作し，形状測定を行った結象LIGA/μ-iMIMの形状転写性に対しては微粉を用いた方が適していることが確認された。 （3）LIGA/μ-iMIM製造法を提案し，微細構造体の離型やハンドリングなどの問題点を克服するとともに，ステンレス鋼製の微細構造体を作製することで本製造法の有効性を確認した。