オーバル歯車式流量計：＜スーパーマイクロフローメイトの紹介＞

摘要

オーバル歯車式流量計は誕生以来、水、油、化学薬品等の流体計測において高精度（±0.5％RDまたは±0.2％RD）で計測が可能な為、各種工程管理や課税対象、商取引等様々な用途に幅広く採用されてきた。しかしながら、流量計の特徴であり、精度維持に大きく依存する歯車や計量室の間隙等の寸法管理は精密機械加工を必要とし、価格的には高価な部類に属されてきた。 もちろん、微小流量計に関しても同様である。 特に微小流量計測においては工業計器として燃焼機器の試験装置、添加剤制御装置等の用途が主であった。 しかしながら近年では、民生市場においてのニーズが急増し、従来には無い小形かつ、安価な商品が求められている。本稿では、弊社のオーバル歯車式微小流量計スーパーマイクロフローメイト及びそれを応用した次世代微小流量計の可能性を紹介する。