光学式ウェーハ外観検査装置＜当社の検査·歩留まり管理ソリューション＞

摘要

信頼性が要求される車載用デバイスを中心に光学的なウェーハ外観検査の要求が高まりつつある。この要求に応えるために、高速で全数外観検査を可能とした当社装置の適用例と、トータルタクト短縮への取り組みを中心に解説する。