金属材料の熱物性多種評価法

摘要

金属材料評価を行う方法として熱伝導率，熱膨張率，比熱，ゼーべック係数やホール係数等の熱特性分析は非常に重要な手段である．特に最近開発される材料はナノメーターオーダーの薄膜金属や低膨張率材料または高温下での転移を有する材料等，一般的に分析困難な物質が多い．本稿はこのような材料を分析するために開発された装置について次の項目を例に紹介するものである．①熱伝導率測定（薄膜材料，バルク材料）；②熱膨張率測定·低昇温速度測定·超高速昇温測定；③比熱測定（薄膜材料，バルク材料）；④ゼーべック係数／ホール係数（薄膜材料，バルク材料）。