周期加熱法による薄膜の厚さ方向の熱物性評価

摘要

We developed a thermophysical property evaluation instrument of the thin film in out-of-plane direction by the 2ω method. The 2ω method is based on periodic heating and thermoreflectance methods. The measurement result by the 2ω method agrees well with the calculation result on the basis of one-dimensional heat conduction model. The analysis method of the measurement result and the evaluated thermophysical property of the thin film depend on the heating frequency. The 2ω method is expected as the thermal conductivity evaluation of the thermoelectric material film.%ナノメートル·マイクロメートルオーダの薄膜材料の開発が進められている。材料開発する上において，アモルファス膜や粒子サイズが小さい膜が求められる場合がある。これらの膜の熱物性値は単結晶の値と異なることが予想され，薄膜の熱物性評価技術の開発が求められている。