球面収差補正走査透過型電子顕微鏡法による材料解析

摘要

透過型電子顕微鏡法をベースとした手法は材料の内部構造を解析する有力な手段である．近年，球面収差補正技術の開発によって電子顕微鏡の性能は飛躍的に向上し，特にその恩恵を大きく受けた走査通過型電子顕微鏡法は材料の原子レベルでの構造解析に数多く応用されるようになってきている．本稿では，我々がこれまでに行ってきた球面収差補正走査透過型電子顕微鏡法を用いた材料解析の例について紹介する．